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Introductory MEMS: Fabrication and Applications - Couverture souple

Adams, Thomas M.; Layton, Richard A.

 
9780387560588: Introductory MEMS: Fabrication and Applications
Couverture souple
ISBN 10 : 0387560580 ISBN 13 : 9780387560588
Editeur : Springer, 2008

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Synopsis

Fabrication.- The substrate and adding material to it.- Creating and transferring patterns#x2014;Photolithography.- Creating structures#x2014;Micromachining.- Solid mechanics.- Applications.- Thinking about modeling.- MEMS transducers#x2014;An overview of how they work.- Piezoresistive transducers.- Capacitive transducers.- Piezoelectric transducers.- Thermal transducers.- to microfluidics.- Laboratories.- Microfabrication laboratories.

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  • ÉditeurSpringer
  • Date d'édition2008
  • ISBN 10 0387560580
  • ISBN 13 9780387560588
  • ReliurePaperback
  • Langueanglais
  • Nombre de pages462

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Edition présentée

ISBN 10 :  0387095101 ISBN 13 :  9780387095103
Editeur : Springer-Verlag New York Inc., 2009
Couverture rigide