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A User's Guide to Ellipsometry - Couverture souple

Tompkins, Harland G

 
9780486450285: A User's Guide to Ellipsometry
Couverture souple
ISBN 10 : 0486450287 ISBN 13 : 9780486450285
Editeur : Dover Publications Inc., 2006
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Book by Tompkins Harland

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Présentation de l'éditeur :
This book is specifically designed for the user who wishes expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications. The book provides a concise discussion of theory and instrumentation before describing how to use optical parameters to determine material properties and optical parameters for inaccessible substrates and unknown films, and how to measure extremely thin films. The book also addresses polysilicon, a material commonly used in the microelectronics industry, and the effect of substrate roughness. This book's concepts and applications are reinforced through the 14 case studies that illustrate specific applications of ellipsometry from the semiconductor industry as well as studies involving corrosion and oxide growth.

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  • ÉditeurDover Publications Inc.
  • Date d'édition2006
  • ISBN 10 0486450287
  • ISBN 13 9780486450285
  • ReliureBroché
  • Nombre de pages272

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ISBN 10 :  0126939500 ISBN 13 :  9780126939507
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Tompkins, Harland G.
Edité par Dover Publishers (2006)
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