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Synopsis
The electronic device based on Metal Oxide Semiconductor (MOS) structure is the most important component of a large-scale integrated circuit and the key to achieving high performance devices. This book contains experimental examples focusing on MOS and will be a reference for academics and postgraduates in the field of microelectronics.
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Shengkai Wang is a professor in the Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences. He received Ph.D. from the University of Tokyo in 2011 and has been engaged in Ge, III-V, SiC in MOS technology. He has published more than 100 papers and authorized 40+ patents.
Xiaolei Wang is a professor in the Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences. He received Ph.D. from the Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences in 2013 and has been engaged in Si/Ge based MOS technology. He has published more than 100 papers.
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MOS Interface Physics, Process and Characterization
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MOS Interface Physics, Process and Characterization
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Taylor & Francis Ltd, 2021
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ISBN 13 : 9781032106281
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