Synopsis
Preface.- Notations and symbols.- Introduction.- Scaling Laws.- Elastic deformations.- Thin Films.- Conductor Paths.- Membranes.- Strain gauges on membranes.- Beams.- Vibrations.- Capillaries.- Capacitive forces.- Piezoelectric effect.- Thermal actuators.- Micro optics.- Diffusion.- Micro valves.- Micro pumps.- Micro dosing.- Analogies between physical domains.- Mechanical devices for electronics.- Pressure sensors.- Flow sensors.- Inertial sensors.
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