Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique (Omn.Univ.Europ.) (French Edition)

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9786131527296: Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique (Omn.Univ.Europ.) (French Edition)

La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure.

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About the Author :

Richard Quintanilha, docteur-ingénieur en Micro- et Nano-électronique, étude de physique à l'Ecole National Supérieure de Physique de Grenoble et à l'Université Joseph Fourier de Grenoble, chercheur en métrologie optique au NIST, Gaithersburg, MD USA.

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1.

Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne, United States (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 10
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Description du livre Univ Europeenne, United States, 2010. Paperback. État : New. Language: French . This book usually ship within 10-15 business days and we will endeavor to dispatch orders quicker than this where possible. Brand New Book. La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L utilisation d algorithmes de minimisation locale permet d effectuer l ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L ensemble des etudes theoriques et experimentales a mis en evidence que la scatterometrie permet de mesurer les profiles de reseaux mono- et bi-periodiques compatibles avec les specifications des futures circuits integres. Neanmoins, seuls certains parametres geometriques de la structure diffractantes sont susceptibles d etre mesures dans des conditions experimentales standard. Cette methode de mesure apparait aussi etre robuste vis-a-vis des defauts et des inhomogeneites du reseau et est bien correlee avec les methodes de mesure couramment utilisees dans en microelectronique (MEB, AFM). On peut noter que la precision des indices optiques des materiaux constitue l une des cles de la fiabilite de la mesure. N° de réf. du libraire OMN9786131527296

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Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne, United States (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 1
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The Book Depository
(London, Royaume-Uni)
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Description du livre Univ Europeenne, United States, 2010. Paperback. État : New. Language: French . Brand New Book. La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L utilisation d algorithmes de minimisation locale permet d effectuer l ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L ensemble des etudes theoriques et experimentales a mis en evidence que la scatterometrie permet de mesurer les profiles de reseaux mono- et bi-periodiques compatibles avec les specifications des futures circuits integres. Neanmoins, seuls certains parametres geometriques de la structure diffractantes sont susceptibles d etre mesures dans des conditions experimentales standard. Cette methode de mesure apparait aussi etre robuste vis-a-vis des defauts et des inhomogeneites du reseau et est bien correlee avec les methodes de mesure couramment utilisees dans en microelectronique (MEB, AFM). On peut noter que la precision des indices optiques des materiaux constitue l une des cles de la fiabilite de la mesure. N° de réf. du libraire KNV9786131527296

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Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne 2010-08-13 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) paperback Quantité : > 20
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Blackwell's
(Oxford, OX, Royaume-Uni)
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Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne, United States (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 1
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The Book Depository US
(London, Royaume-Uni)
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Description du livre Univ Europeenne, United States, 2010. Paperback. État : New. Language: French . Brand New Book. La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L utilisation d algorithmes de minimisation locale permet d effectuer l ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L ensemble des etudes theoriques et experimentales a mis en evidence que la scatterometrie permet de mesurer les profiles de reseaux mono- et bi-periodiques compatibles avec les specifications des futures circuits integres. Neanmoins, seuls certains parametres geometriques de la structure diffractantes sont susceptibles d etre mesures dans des conditions experimentales standard. Cette methode de mesure apparait aussi etre robuste vis-a-vis des defauts et des inhomogeneites du reseau et est bien correlee avec les methodes de mesure couramment utilisees dans en microelectronique (MEB, AFM). On peut noter que la precision des indices optiques des materiaux constitue l une des cles de la fiabilite de la mesure. N° de réf. du libraire KNV9786131527296

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QUINTANILHA-R
Edité par OmniScriptum (2016)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 1
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Ria Christie Collections
(Uxbridge, Royaume-Uni)
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Description du livre OmniScriptum, 2016. Paperback. État : New. PRINT ON DEMAND Book; New; Publication Year 2016; Not Signed; Fast Shipping from the UK. No. book. N° de réf. du libraire ria9786131527296_lsuk

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Richard Quintanilha
Edité par Omniscriptum (2015)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
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Books2Anywhere
(Fairford, GLOS, Royaume-Uni)
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Description du livre Omniscriptum, 2015. PAP. État : New. New Book. Delivered from our UK warehouse in 3 to 5 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. N° de réf. du libraire LQ-9786131527296

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Richard Quintanilha
Edité par Omniscriptum (2015)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Quantité : > 20
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Description du livre Omniscriptum, 2015. PAP. État : New. New Book. Shipped from US within 10 to 14 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. N° de réf. du libraire IQ-9786131527296

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Richard Quintanilha
Edité par Univ Européenne (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Couverture souple Quantité : 1
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Gallix
(Gif sur Yvette, France)
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Description du livre Univ Européenne, 2010. État : Neuf. N° de réf. du libraire 9786131527296

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Richard Quintanilha
Edité par Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Taschenbuch Quantité : 2
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Rheinberg-Buch
(Bergisch Gladbach, Allemagne)
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Description du livre Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010, 2010. Taschenbuch. État : Neu. Neuware - La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. N° de réf. du libraire 9786131527296

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Richard Quintanilha
Edité par Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Taschenbuch Quantité : 2
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Agrios-Buch
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Description du livre Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010, 2010. Taschenbuch. État : Neu. Neuware - La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. N° de réf. du libraire 9786131527296

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