Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique

Note moyenne 0
( 0 avis fournis par GoodReads )
 
9786131527296: Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique
Présentation de l'éditeur :

La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure.

Biographie de l'auteur :

Richard Quintanilha, docteur-ingénieur en Micro- et Nano-électronique, étude de physique à l'Ecole National Supérieure de Physique de Grenoble et à l'Université Joseph Fourier de Grenoble, chercheur en métrologie optique au NIST, Gaithersburg, MD USA.

Les informations fournies dans la section « A propos du livre » peuvent faire référence à une autre édition de ce titre.

Acheter neuf Afficher le livre
EUR 71,54

Autre devise

Frais de port : Gratuit
De Royaume-Uni vers Etats-Unis

Destinations, frais et délais

Ajouter au panier

Meilleurs résultats de recherche sur AbeBooks

1.

Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne, United States (2015)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 1
Vendeur
The Book Depository
(London, Royaume-Uni)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Univ Europeenne, United States, 2015. Paperback. État : New. 220 x 150 mm. Language: French . Brand New Book. La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L utilisation d algorithmes de minimisation locale permet d effectuer l ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L ensemble des etudes theoriques et experimentales a mis en evidence que la scatterometrie permet de mesurer les profiles de reseaux mono- et bi-periodiques compatibles avec les specifications des futures circuits integres. Neanmoins, seuls certains parametres geometriques de la structure diffractantes sont susceptibles d etre mesures dans des conditions experimentales standard. Cette methode de mesure apparait aussi etre robuste vis-a-vis des defauts et des inhomogeneites du reseau et est bien correlee avec les methodes de mesure couramment utilisees dans en microelectronique (MEB, AFM). On peut noter que la precision des indices optiques des materiaux constitue l une des cles de la fiabilite de la mesure. N° de réf. du libraire KNV9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 71,54
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : Gratuit
De Royaume-Uni vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

2.

Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne 2010-08-13 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) paperback Quantité : > 20
Vendeur
Blackwell's
(Oxford, OX, Royaume-Uni)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Univ Europeenne 2010-08-13, 2010. paperback. État : New. N° de réf. du libraire 9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 67,05
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 5,20
De Royaume-Uni vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

3.

Quintanilha-R
Edité par Univ Europeenne, United States (2015)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 1
Vendeur
The Book Depository US
(London, Royaume-Uni)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Univ Europeenne, United States, 2015. Paperback. État : New. 220 x 150 mm. Language: French . Brand New Book. La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L utilisation d algorithmes de minimisation locale permet d effectuer l ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L ensemble des etudes theoriques et experimentales a mis en evidence que la scatterometrie permet de mesurer les profiles de reseaux mono- et bi-periodiques compatibles avec les specifications des futures circuits integres. Neanmoins, seuls certains parametres geometriques de la structure diffractantes sont susceptibles d etre mesures dans des conditions experimentales standard. Cette methode de mesure apparait aussi etre robuste vis-a-vis des defauts et des inhomogeneites du reseau et est bien correlee avec les methodes de mesure couramment utilisees dans en microelectronique (MEB, AFM). On peut noter que la precision des indices optiques des materiaux constitue l une des cles de la fiabilite de la mesure. N° de réf. du libraire KNV9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 74,30
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : Gratuit
De Royaume-Uni vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

4.

Richard Quintanilha
Edité par Omniscriptum (2015)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Quantité : > 20
impression à la demande
Vendeur
Books2Anywhere
(Fairford, GLOS, Royaume-Uni)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Omniscriptum, 2015. PAP. État : New. New Book. Delivered from our UK warehouse in 3 to 5 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. N° de réf. du libraire LQ-9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 77,73
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 10,41
De Royaume-Uni vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

5.

QUINTANILHA-R
Edité par OmniScriptum (2016)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Paperback Quantité : 1
impression à la demande
Vendeur
Ria Christie Collections
(Uxbridge, Royaume-Uni)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre OmniScriptum, 2016. Paperback. État : New. PRINT ON DEMAND Book; New; Publication Year 2016; Not Signed; Fast Shipping from the UK. No. book. N° de réf. du libraire ria9786131527296_lsuk

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 86,70
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 3,86
De Royaume-Uni vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

6.

Richard Quintanilha
Edité par Omniscriptum (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Quantité : 3
Vendeur
Gallix
(Gif sur Yvette, France)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Omniscriptum, 2010. État : Neuf. N° de réf. du libraire 9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 79
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 12
De France vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

7.

Richard Quintanilha
Edité par Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Taschenbuch Quantité : 2
Vendeur
Rheinberg-Buch
(Bergisch Gladbach, Allemagne)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010, 2010. Taschenbuch. État : Neu. 220x150x16 mm. Neuware - La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. N° de réf. du libraire 9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 79
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 17,11
De Allemagne vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

8.

Richard Quintanilha
Edité par Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Taschenbuch Quantité : 2
Vendeur
Agrios-Buch
(Bergisch Gladbach, Allemagne)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010, 2010. Taschenbuch. État : Neu. 220x150x16 mm. Neuware - La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. N° de réf. du libraire 9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 79
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 17,13
De Allemagne vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

9.

Richard Quintanilha
Edité par Omniscriptum (2015)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Quantité : > 20
impression à la demande
Vendeur
PBShop
(Wood Dale, IL, Etats-Unis)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Omniscriptum, 2015. PAP. État : New. New Book. Shipped from US within 10 to 14 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. N° de réf. du libraire IQ-9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 93,50
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 3,71
Vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

10.

Richard Quintanilha
Edité par Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010 (2010)
ISBN 10 : 6131527296 ISBN 13 : 9786131527296
Neuf(s) Taschenbuch Quantité : 1
impression à la demande
Vendeur
AHA-BUCH GmbH
(Einbeck, Allemagne)
Evaluation vendeur
[?]

Description du livre Editions Universitaires Europeennes EUE Aug 2010, 2010. Taschenbuch. État : Neu. 220x150x16 mm. This item is printed on demand - Print on Demand Neuware - La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. N° de réf. du libraire 9786131527296

Plus d'informations sur ce vendeur | Poser une question au libraire

Acheter neuf
EUR 79
Autre devise

Ajouter au panier

Frais de port : EUR 29,50
De Allemagne vers Etats-Unis
Destinations, frais et délais

autres exemplaires de ce livre sont disponibles

Afficher tous les résultats pour ce livre