Handbook of Ellipsometry (Hardback)

Harland G. Tompkins, Eugene A Haber

Edité par William Andrew Publishing, 2006
ISBN 10: 0815514999 / ISBN 13: 9780815514992
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Language: English Brand New Book. The Handbook of Ellipsometry is a critical foundation text on an increasingly critical subject. Ellipsometry, a measurement technique based on phase and amplitude changes in polarized light, is becoming popular in a widening array of applications because of increasing miniaturization of integrated circuits and breakthroughs in knowledge of biological macromolecules deriving from DNA and protein surface research. Ellipsometry does not contact or damage samples, and is an ideal measurement technique for determining optical and physical properties of materials at the nano scale. With the acceleration of new instruments and applications now occurring, this book provides an essential foundation for the current science and technology of ellipsometry for scientists and engineers in industry and academia at the forefront of nanotechnology developments in instrumentation, integrated circuits, biotechnology, and pharmaceuticals.Divided into four parts, this comprehensive handbook covers the theory of ellipsometry, instrumentation, applications, and emerging areas. Experts in the field contributed to its twelve chapters, covering various aspects of ellipsometry. N° de réf. du libraire

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Synopsis : "The Handbook of Ellipsometry" is a critical foundation text on an increasingly critical subject. Ellipsometry, a measurement technique based on phase and amplitude changes in polarized light, is becoming popular in a widening array of applications because of increasing miniaturization of integrated circuits and breakthroughs in knowledge of biological macromolecules deriving from DNA and protein surface research. Ellipsometry does not contact or damage samples, and is an ideal measurement technique for determining optical and physical properties of materials at the nano scale. With the acceleration of new instruments and applications now occurring, this book provides an essential foundation for the current science and technology of ellipsometry for scientists and engineers in industry and academia at the forefront of nanotechnology developments in instrumentation, integrated circuits, biotechnology, and pharmaceuticals.Divided into four parts, this comprehensive handbook covers the theory of ellipsometry, instrumentation, applications, and emerging areas. Experts in the field contributed to its twelve chapters, covering various aspects of ellipsometry.

A propos de l'auteur: About The Editors: Harland Tompkins is a consultant with more than thirty years experience in thin films for microelectronics, applied surface science, and vacuum technology. With a Ph.D. in physics from the University of Wisconsin-Milwaukee, he previously worked 12 years at Bell Laboratories and 16 years at Motorola. He has authored more than 75 technical papers and two other best selling books on ellipsometry, one at an introductory level for casual users and the other an intermediate book for process engineers. He is a Fellow of the AVS. Eugene Irene, a Ph.D. from Rensselaer Polytechnic Institute, is Professor of Chemistry at the University of North Carolina, Chapel Hill. He began his academic career in 1982 after 10 years experience at IBM?s Thomas J. Watson Research Center. He is the author of over 230 publications in the areas of thin films and dielectrics and is the recipient of several awards. He is a Fellow of the AVS.

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Détails bibliographiques

Titre : Handbook of Ellipsometry (Hardback)
Éditeur : William Andrew Publishing
Date d'édition : 2006
Reliure : Hardback
Etat du livre : New

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1.

Harland Tompkins
Edité par William Andrew 2006-01-14 (2006)
ISBN 10 : 0815514999 ISBN 13 : 9780815514992
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TOMPKINS, HARLAND; TOMPKINS, HARLAND; IRENE, EUGENE A; IRENE, EUGENE A
Edité par William Andrew (2005)
ISBN 10 : 0815514999 ISBN 13 : 9780815514992
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TOMPKINS, HARLAND; TOMPKINS, HARLAND; IRENE, EUGENE A; IRENE, EUGENE A
Edité par William Andrew (2005)
ISBN 10 : 0815514999 ISBN 13 : 9780815514992
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Tompkins, Harland
Edité par William Andrew (2016)
ISBN 10 : 0815514999 ISBN 13 : 9780815514992
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Tompkins, Harland; Irene, Eugene A; Tompkins, Harland [Editor]; Irene, Eugene A [Editor];
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Tompkins, Harland
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Tompkins, Harland; Irene, Eugene A
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Harland Tompkins, Eugene A Irene, Harland Tompkins (Editor), Eugene A Irene (Editor)
Edité par William Andrew (2006)
ISBN 10 : 0815514999 ISBN 13 : 9780815514992
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Harland Tompkins, Eugene Irene, Eugene A Haber
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ISBN 10 : 0815514999 ISBN 13 : 9780815514992
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