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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications
Vendeur : ThriftBooks-Atlanta, AUSTELL, GA, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 15,97
Autre deviseEUR 10,27 expédition depuis Etats-Unis vers FranceQuantité disponible : 1 disponible(s)
Ajouter au panierHardcover. Etat : Good. No Jacket. Missing dust jacket; Pages can have notes/highlighting. Spine may show signs of wear. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less 1.55.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology) [Hardcover] Glendinning, William B. and Helbert, John N.
Vendeur : Hay-on-Wye Booksellers, Hay-on-Wye, HEREF, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 24,38
Autre deviseEUR 8,23 expédition depuis Royaume-Uni vers FranceQuantité disponible : 1 disponible(s)
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Handbook Of Vlsi Microlithography : Principles, Technology And Applications
Vendeur : Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 53,66
Autre deviseGratuit expédition depuis Etats-Unis vers FranceQuantité disponible : 1 disponible(s)
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY : PRINCIPLES, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
Vendeur : Basi6 International, Irving, TX, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 53,66
Autre deviseEUR 2,96 expédition depuis Etats-Unis vers FranceQuantité disponible : 3 disponible(s)
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Edité par William Andrew 1991-01-01, 1991
ISBN 10 : 0815512813 ISBN 13 : 9780815512813
Langue: anglais
Vendeur : Chiron Media, Wallingford, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 46,97
Autre deviseEUR 11,24 expédition depuis Royaume-Uni vers FranceQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of Vlsi Microlithography: Principles, Technology and Applications
Vendeur : Revaluation Books, Exeter, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 54,39
Autre deviseEUR 11,84 expédition depuis Royaume-Uni vers FranceQuantité disponible : 2 disponible(s)
Ajouter au panierHardcover. Etat : Brand New. 1st edition. 671 pages. 10.00x6.75x2.25 inches. In Stock.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Vendeur : Toscana Books, AUSTIN, TX, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 43,71
Autre deviseEUR 26,47 expédition depuis Etats-Unis vers FranceQuantité disponible : 1 disponible(s)
Ajouter au panierHardcover. Etat : new. Excellent Condition.Excels in customer satisfaction, prompt replies, and quality checks.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Vendeur : Ria Christie Collections, Uxbridge, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 67,70
Autre deviseEUR 4,73 expédition depuis Royaume-Uni vers FranceQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Edité par Elsevier Science & Technology, William Andrew, 1991
ISBN 10 : 0815512813 ISBN 13 : 9780815512813
Langue: anglais
Vendeur : AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Allemagne
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 65,55
Autre deviseEUR 10,99 expédition depuis Allemagne vers FranceQuantité disponible : 2 disponible(s)
Ajouter au panierBuch. Etat : Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
