3-Dimensional Process Simulation

Langue : anglais

Edité par Springer Vienna, Springer Okt 2011, 2011

3709174309 / 9783709174302

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Whereas two-dimensional semiconductor process simulation has achieved a certain degree of maturity, three-dimensional process simulation is a newly emerging field in which most efforts are dedicated to necessary basic developments. Research in this area is promoted by the growing demand to obtain reliable information on device geometries and dopant distributions needed for three-dimensional device simulation, and challenged by the great algorithmic problems caused by moving interfaces and by the requirement to limit computation times and memory requirements. A workshop (Erlangen, September 5, 1995) provided a forum to discuss the industrial needs, technical problems, and solutions being developed in the field of three-dimensional semiconductor process simulation. Invited presentations from leading semiconductor companies and research Centers of Excellence from Japan, the USA, and Europe outlined novel numerical algorithms, physical models, and applications in this rapidly emerging field. 212 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9783709174302

Titre
3-Dimensional Process Simulation
Auteur
J. Lorenz
Éditeur
Springer Vienna, Springer Okt 2011
Année de publication
2011
État de l'article
Neu
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3709174309
ISBN à 13 chiffres
9783709174302
Poids de l'article
375 grammes
Dimensions
244x170x12 mm

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