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Synopsis
The most comprehensive source available on the preparation, characterization, and emerging applications of thin film. This book features extensive new advances applied in Multichip Modules (MCMs), and covers the basic principles and applications of thin film deposition techniques for practical use. It provides and develops design guidelines to realize multilayer structures in microcircuits, thus addressing a critical and rapidly growing area.
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Thin Film Technology Handbook
Edité par
McGraw-Hill Professional, 1997
ISBN 10 : 0070190259
ISBN 13 : 9780070190252
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