Thin Film Processes - Couverture souple

 
9780123960276: Thin Film Processes
Couverture souple
ISBN 10 : 0123960274 ISBN 13 : 9780123960276
Editeur : Academic Press, 2012

Synopsis

Remarkable advances have been made in recent years in the science and technology of thin film processes for deposition and etching. It is the purpose of this book to bring together tutorial reviews of selected filmdeposition and etching processes from a process viewpoint. Emphasis is placed on the practical use of the processes to provide working guidelines for their implementation, a guide to the literature, and an overview of each process.

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Présentation de l'éditeur

Remarkable advances have been made in recent years in the science and technology of thin film processes for deposition and etching. It is the purpose of this book to bring together tutorial reviews of selected filmdeposition and etching processes from a process viewpoint. Emphasis is placed on the practical use of the processes to provide working guidelines for their implementation, a guide to the literature, and an overview of each process.

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Éditeur
Academic Press
Date d'édition
2012
Langue
anglais
ISBN 10 
0123960274
ISBN 13 
9780123960276
Reliure
Broché
Nombre de pages
576
Éditeur
Vossen John L.
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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