Synopsis
Semiconductor technologies are moving at such a fast pace that new materials are needed in all types of application. Manipulating the materials and their properties at atomic dimensions has become a must. This book presents the case of interlayer dielectrics materials whilst considering these challenges. Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package.
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By Shyam P Muraka
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Interlayer Dielectrics For Semiconductor Technologies
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INTERLAYER DIELECTRICS FOR SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES (HB 2003)
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies.
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Elsevier Academic Press, Amsterdam a.o., 2003
ISBN 10 : 0125112211
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XIV, 444 S. mit zahlreichen Abbildungen, 0125112211 Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 1030 Groß 8°, Original-Pappband (Hardcover), Bibliotheks-Exemplar (Privatbibliothek) mit Rückenschild, Stempel und Barcode auf Titel, Einband in selbstklebende transparente Schutzfolie eingeschlagen, insgesamt gutes und innen sauberes Exemplar, N° de réf. du vendeur 91269
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies
Edité par
Academic Press, 2004
ISBN 10 : 0125112211
ISBN 13 : 9780125112215
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies. Murarka, S.P., M. Eizenberg and A.K. Sinha
Edité par
Academic Press, 2004
ISBN 10 : 0125112211
ISBN 13 : 9780125112215
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Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies (Academic Press)
Edité par
Academic Press, 2004
ISBN 10 : 0125112211
ISBN 13 : 9780125112215
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