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Plasma Etching: Fundamentals and Applications - Couverture rigide

Sugawara, M.

 
9780198562870: Plasma Etching: Fundamentals and Applications
Couverture rigide
ISBN 10 : 019856287X ISBN 13 : 9780198562870
Editeur : Oxford University Press, 1998

Synopsis

The focus of this book is the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio frequency) glow discharges. A basic analytical theory and plasma physics are explained. Plasma diagnostics are also covered before the practicalities of etcher use are explored.

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À propos de l?auteur

Professor Minoru Sugawara, Hachinohe Institute of Technology, Hachinohe-city, Aomori 031, Japan. Fax: (0) 178 25 1430

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Éditeur
Oxford University Press
Date d'édition
1998
Langue
anglais
ISBN 10 
019856287X
ISBN 13 
9780198562870
Reliure
Relié
Nombre de pages
356
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non disponible
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Assago Milano
20090
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Sugawara, M.
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