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Synopsis
Modular Series on Solid State Devices. This volume is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted excusively to processing and its highlighted by careful explanations.
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Quatrième de couverture
Introduction to Microelectronic Fabrication, Second Edition, by Richard C. Jaeger, is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted exclusively to processing and is highlighted by careful explanations, clean, simple language, and numerous fully solved example problems.
The second edition includes an entirely new chapter on MEMS, as well as substantial modifications to the chapters on MOS and bipolar process integration. Also included is new or expanded coverage of lithography and exposure systems, trench isolation, chemical mechanical polishing, shallow junctions, transient enhanced diffusion, copper Damascene processes and process simulation.
Présentation de l'éditeur
Modular Series on Solid State Devices. This volume is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted excusively to processing and its highlighted by careful explanations.
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- ÉditeurPearson
- Date d'édition1988
- ISBN 10 0201146959
- ISBN 13 9780201146950
- ReliureBroché
- Langueanglais
- Nombre de pages224
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Introduction to Microelectronic Fabrication (Modular Series on Solid State Devices, Vol 5)
Edité par
Addison-Wesley, 1988
ISBN 10 : 0201146959
ISBN 13 : 9780201146950
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Addison-Wesley, 1988
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Introduction to Microelectronic Fabrication (Modular Series on Solid State Devices, Vol 5)
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Addison-Wesley, 1988
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ISBN 13 : 9780201146950
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Addison-Wesley, 1988
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Microelectronic Fabrication
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Pearson Education, Limited, 1988
ISBN 10 : 0201146959
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Introduction to Microelectronic Fabrication
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Addison-Wesley, 1988
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Modular Series on Solid State Devices: Introduction to Microelectronic Fabrication (Volume 5)
Edité par
Addison-Wesley, 1993
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ISBN 13 : 9780201146950
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Addison-Wesley, 1988
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Introduction to Microelectronic Fabrication (Modular Series on Solid State Devices, Vol 5)
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