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Introduction to Microelectronic Fabrication - Couverture souple

Jaeger, Richard C.

 
9780201146950: Introduction to Microelectronic Fabrication
Couverture souple
ISBN 10 : 0201146959 ISBN 13 : 9780201146950
Editeur : Pearson, 1988

Synopsis

Modular Series on Solid State Devices. This volume is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted excusively to processing and its highlighted by careful explanations.

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Quatrième de couverture

Introduction to Microelectronic Fabrication, Second Edition, by Richard C. Jaeger, is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted exclusively to processing and is highlighted by careful explanations, clean, simple language, and numerous fully solved example problems.

The second edition includes an entirely new chapter on MEMS, as well as substantial modifications to the chapters on MOS and bipolar process integration. Also included is new or expanded coverage of lithography and exposure systems, trench isolation, chemical mechanical polishing, shallow junctions, transient enhanced diffusion, copper Damascene processes and process simulation.

Présentation de l'éditeur

Modular Series on Solid State Devices. This volume is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted excusively to processing and its highlighted by careful explanations.

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  • ÉditeurPearson
  • Date d'édition1988
  • ISBN 10 0201146959
  • ISBN 13 9780201146950
  • ReliureBroché
  • Langueanglais
  • Nombre de pages224
  • Coordonnées du fabricantnon disponible

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Edition présentée

ISBN 10 :  0201444941 ISBN 13 :  9780201444940
Editeur : Pearson, 2001
Couverture souple

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Richard C. Jaeger
Edité par Addison-Wesley, 1988
ISBN 10 : 0201146959 ISBN 13 : 9780201146950
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ISBN 10 : 0201146959 ISBN 13 : 9780201146950
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ISBN 10 : 0201146959 ISBN 13 : 9780201146950
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Ancien ou d'occasion Couverture souple

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Edité par Addison-Wesley, 1993
ISBN 10 : 0201146959 ISBN 13 : 9780201146950
Ancien ou d'occasion Couverture souple

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ISBN 10 : 0201146959 ISBN 13 : 9780201146950
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