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Synopsis
For courses in Theory and Fabrication of Integrated Circuits.
The author's goal in writing this text was to present a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted exclusively to processing, and is highlighted by careful explanations, clear, simple language, and numerous fully-solved example problems. This work assumes a minimal knowledge of integrated circuits and of terminal behavior of electronic components such as resistors, diodes, and MOS and bipolar transistors.
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Quatrième de couverture
Introduction to Microelectronic Fabrication, Second Edition, by Richard C. Jaeger, is a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted exclusively to processing and is highlighted by careful explanations, clean, simple language, and numerous fully solved example problems.
The second edition includes an entirely new chapter on MEMS, as well as substantial modifications to the chapters on MOS and bipolar process integration. Also included is new or expanded coverage of lithography and exposure systems, trench isolation, chemical mechanical polishing, shallow junctions, transient enhanced diffusion, copper Damascene processes and process simulation.
Présentation de l'éditeur
For courses in Theory and Fabrication of Integrated Circuits.
The author's goal in writing this text was to present a concise survey of the most up-to-date techniques in the field. It is devoted exclusively to processing, and is highlighted by careful explanations, clear, simple language, and numerous fully-solved example problems. This work assumes a minimal knowledge of integrated circuits and of terminal behavior of electronic components such as resistors, diodes, and MOS and bipolar transistors.
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- ÉditeurPearson
- Date d'édition2001
- ISBN 10 0201444941
- ISBN 13 9780201444940
- ReliureBroché
- Langueanglais
- Numéro d'édition2
- Nombre de pages336
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Introduction to Microelectronic Fabrication V.
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Introduction to Microelectronic Fabrication : Volume 5 (Modular Series on Solid State Devices)
Edité par
Pearson Education, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 (Modular Series on Solid State Devices) [Paperback] Jaeger, Richard
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Introduction to Microelectronic Fabrication : Volume 5 (Modular Series on Solid State Devices)
Edité par
Pearson Education, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 of Modular Series on Solid State Devices: Volume 5 (Modular Series on Solid State Devices) (Modular Series on Solid State Deviced, Vol 5, Band 5)
Edité par
Prentice Hall, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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Introduction to Microelectroni
Edité par
Pearson, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 (Modular Series on Solid State Devices)
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Introduction to Microelectronic Fabrication
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Pearson, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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Introduction to Microelectroni
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Pearson, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 (Modular Series on Solid State Devices)
Edité par
Pearson, 2001
ISBN 10 : 0201444941
ISBN 13 : 9780201444940
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