Handbook of Silicon Semiconductor Metrology - Couverture souple

 
9780367397166: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology
Couverture souple
ISBN 10 : 0367397161 ISBN 13 : 9780367397166
Editeur : CRC Press, 2019

Synopsis

Containing more than 300 equations and nearly 500 drawings, photographs, and micrographs,
this reference surveys key areas such as optical measurements and in-line calibration methods. It describes cleanroom-based measurement technology used during the manufacture of silicon integrated circuits and covers model-based, critical dimension, overlay, acoustic film thickness, dopant dose, junction depth, and electrical measurements; particle and defect detection; and flatness following chemical mechanical polishing. Providing examples of well-developed metrology capability, the book focuses on metrology for lithography, transistor, capacitor, and on-chip interconnect process technologies.

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À propos de l'auteur

Alain C. Diebold

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Éditeur
CRC Press
Date d'édition
2019
Langue
anglais
ISBN 10 
0367397161
ISBN 13 
9780367397166
Reliure
Broché
Nombre de pages
896
Éditeur
Diebold Alain C.
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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