Articles liés à Ultra-clean Technology Handbook: Ultra-pure Water (1)

Ultra-clean Technology Handbook: Ultra-pure Water (1) - Couverture souple

Ohmi, Tadahiro

 
9780367402341: Ultra-clean Technology Handbook: Ultra-pure Water (1)
Couverture souple
ISBN 10 : 0367402343 ISBN 13 : 9780367402341
Editeur : CRC Press, 2020

Synopsis

Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules.

Les informations fournies dans la section « Synopsis » peuvent faire référence à une autre édition de ce titre.

À propos de l'auteur

Tadahiro Ohmi is a Professor in the Electronics Department of the Faculty of Engineering at Tohoku University, Sendai, Japan. Dr. Ohmi is a member of the Institute of Electrical and Electronics Engineers, the Electrochemical Society, the Institute of Electrical Engineers (Japan). and the Japanese Applied Physics Society. among others. He received the B.S. degree (1961). the M.S. degree (1963), and the Ph.D. degree (1966) from the Tokyo Institute of Technology. Japan.

Les informations fournies dans la section « A propos du livre » peuvent faire référence à une autre édition de ce titre.

Éditeur
CRC Press
Date d'édition
2020
Langue
anglais
ISBN 10 
0367402343
ISBN 13 
9780367402341
Reliure
Broché
Nombre de pages
944
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible