Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics: Proceedings of Symposium d on Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics of the 1993 - Couverture rigide

 
9780444819833: Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics: Proceedings of Symposium d on Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics of the 1993
Couverture rigide
ISBN 10 : 0444819835 ISBN 13 : 9780444819833
Editeur : Elsevier Science Ltd, 1994

Synopsis

These proceedings focus on the technology application driving forces for multichamber approaches to semiconductor process sequences, otherwise called cluster tools or integrated processing and present research results upon which these manufacturing technologies are built.

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Éditeur
Elsevier Science Ltd
Date d'édition
1994
Langue
anglais
ISBN 10 
0444819835
ISBN 13 
9780444819833
Reliure
Relié
Nombre de pages
320
Éditeur
Nissim Yves I., Etc., Katz A., Rubloff G.W.
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible