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Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers - Couverture rigide

Kao, Imin; Chung, Chunhui

 
9780470061213: Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Couverture rigide
ISBN 10 : 0470061219 ISBN 13 : 9780470061213
Editeur : John Wiley & Sons Inc, 2021

Synopsis

Presenting all the major stages in wafer manufacturing, from crystals to prime wafers.

This book first outlines the physics, associated metrology, process modelling and quality requirements and the goes on to discuss wafer forming and wafer surface preparation techniques. The whole is rounded off with a chapter on the research and future challenges in wafer manufacturing.

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À propos de l?auteur

Imin Kao, is Professor in the Department of Mechanical Engineering at the State University of New York in Stony Brook, USA. He is Faculty Director of the Undergraduate College in Information and Technology Studies. He holds three patents, and his research foci include robotic manipulation with soft contacts and smart contact surface technology using MEMS.

Chunhui Chung, is Associate Professor in the Department of Mechanical Engineering at the National Cheng Kung University in Taiwan.

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  • ÉditeurJohn Wiley & Sons Inc
  • Date d'édition2021
  • ISBN 10 0470061219
  • ISBN 13 9780470061213
  • ReliureRelié
  • Langueanglais
  • Nombre de pages304
  • Coordonnées du fabricantnon disponible

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9781118696224: Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Edition présentée

ISBN 10 :  1118696220 ISBN 13 :  9781118696224
Editeur : John Wiley & Sons Inc, 2013
Couverture rigide

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Imin Kao|Chunhui Chung
Edité par John Wiley & Sons, 2021
ISBN 10 : 0470061219 ISBN 13 : 9780470061213
Neuf Couverture rigide

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