Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide - Couverture rigide

Tompkins, Harland G.; McGahan, William A.

 
9780471181729: Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide
Couverture rigide
ISBN 10 : 0471181722 ISBN 13 : 9780471181729
Editeur : Wiley-Interscience, 1999

Synopsis

Mit Hilfe der Ellipsometrie mißt man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)

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À propos de l?auteur

Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.

William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.

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Éditeur
Wiley-Interscience
Date d'édition
1999
Langue
anglais
ISBN 10 
0471181722
ISBN 13 
9780471181729
Reliure
Relié
Nombre de pages
248
Coordonnées du fabricant
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Personne responsable
non disponible