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Semiconductor Device and Failure Analysis: Using Photon Emission Microscopy - Couverture rigide

Chim, Wai Kin

 
9780471492405: Semiconductor Device and Failure Analysis: Using Photon Emission Microscopy

Synopsis

Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzuspüren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bewährt hat. Dieser Band erläutert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausrüstung über spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)

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À propos de l'auteur

Wai Kin Chim is the author of Semiconductor Device and Failure Analysis: Using Photon Emission Microscopy, published by Wiley.

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