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Synopsis
An interdisciplinary work offering an introduction to the basic principles and operational characteristics of semiconductor sensors. Describes sensor technology, stressing bulk and surface micromachining. Considers a sensor group related to a special physical, chemical or biological input signal. The final chapter deals with integrated sensors. Each chapter includes a summary, problem sets and a discussion of future sensor trends.
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À propos de l'auteur
S. M. SZE, PhD, is UMC Chair Professor in the Electronics Engineering Department at the National Chiao Tung University. His previous books include Semiconductor Devices; Physics of Semiconductor Devices, Second Edition; High-Speed Semiconductor Devices; and Semiconductor Sensors, all available from Wiley.
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Semiconductor Sensors
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Wiley-Interscience, 1994
ISBN 10 : 0471546097
ISBN 13 : 9780471546092
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Wiley-Interscience, 1969
ISBN 10 : 0471546097
ISBN 13 : 9780471546092
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Semiconductor Sensors
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