Applications of Plasma Processes to Vlsi Technology - Couverture rigide

Sugano, Takuo

 
9780471869603: Applications of Plasma Processes to Vlsi Technology
Couverture rigide
ISBN 10 : 0471869600 ISBN 13 : 9780471869603
Editeur : John Wiley & Sons Inc, 1985

Synopsis

This book presents state-of-the-art research in microelectronic processing for very large scale integration. Emphasizing applications and techniques, the book provides considerable insight into Japan's technological effort in this important area of science. Focused on research involving plasma deposition and dry etching, considerable attention is devoted to MOS gate fabrication, the studies of the influence of process parameters on electrical properties, dry processing technologies, and the theory of plasma chemical reactions.

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Éditeur
John Wiley & Sons Inc
Date d'édition
1985
Langue
anglais
ISBN 10 
0471869600
ISBN 13 
9780471869603
Reliure
Relié
Nombre de pages
410
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible