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Characterization and Metrology for Ulsi Technology 2003: International Conference on Characterization and Metrology for Ulsi Technology, Austin, Texas 24-28 March 2003 - Couverture rigide

 
9780735401525: Characterization and Metrology for Ulsi Technology 2003: International Conference on Characterization and Metrology for Ulsi Technology, Austin, Texas 24-28 March 2003
Couverture rigide
ISBN 10 : 0735401527 ISBN 13 : 9780735401525
Editeur : American Institute of Physics, 2003

Synopsis

This book/CD-ROM package presents papers from a March 2003 conference on progress in semiconductor technology, detailing major aspects of process technology and most characterization techniques for silicon research, including development, manufacturing, and diagnostics. Scientists and engineers conc

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Éditeur
American Institute of Physics
Date d'édition
2003
Langue
anglais
ISBN 10 
0735401527
ISBN 13 
9780735401525
Reliure
Relié
Nombre de pages
836
Éditeur
Seiler David G., Diebold Alain C., Shaffner Thomas J., McDonald Robert, Zollner Stefan, Khosla Rajinder P., Secula Eric M.
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible