Handbook of Thin Film Process Technology

Glocker, D.; Etc.

ISBN 10 : 0750303115 ISBN 13 : 9780750303118

Editeur : Institute of Physics Publishing, 1995

Synopsis

This reference covers the most important thin film deposition techniques, as well as aspects of film processing and the major diagnostic techniques for in-process monitoring. It presents deposition system details and process parameters for a range of common materials and processes.

Détails de l'édition

• Éditeur: Institute of Physics Publishing
• Date d'édition: 1995
• Langue: anglais
• ISBN 10: 0750303115
• ISBN 13: 9780750303118
• Reliure: Feuillets mobiles
• Nombre de pages: 160
• Coordonnées du fabricant: non disponible
• Personne responsable: non disponible