Efficient Extreme Ultra-violet Mirror Design: An FDTD Approach - Couverture rigide

Lee, Yen-Min

 
9780750326506: Efficient Extreme Ultra-violet Mirror Design: An FDTD Approach
Couverture rigide
ISBN 10 : 0750326506 ISBN 13 : 9780750326506
Editeur : Institute of Physics Publishing, 2021

Synopsis

Efficient Extreme Ultraviolet Mirror Design describes an approach to designing EUV mirrors with reduced computational time and memory requirements, providing a comprehensive grounding in the fundamentals of the EUV mirror and knowledge of the finite-difference time-domain (FDTD) method. It is an essential reference for EUV industry professionals.

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À propos de l'auteur

Dr Yen-Min Lee obtained his PhD from the National Taiwan University (Taipei, Taiwan) before joining ASML Holding as a mechatronics engineer in their motion design group in the USA. He went on to join the optical design group at Eindhoven and served as a senior physics engineer in the optical metrology group (Linkou, Taiwan). His research interests include computational lithography, large-scale electromagnetic problems, parallel computing, inverse algorithms, optical metrology, and medical imaging.

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Éditeur
Institute of Physics Publishing
Date d'édition
2021
Langue
anglais
ISBN 10 
0750326506
ISBN 13 
9780750326506
Reliure
Relié
Nombre de pages
112
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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