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Efficient Extreme Ultraviolet Mirror Design: An FDTD approach - Couverture souple

Lee, Yen-Min

 
9780750326537: Efficient Extreme Ultraviolet Mirror Design: An FDTD approach
Couverture souple
ISBN 10 : 0750326530 ISBN 13 : 9780750326537
Editeur : Institute of Physics Publishing, 2021

Synopsis

Efficient Extreme Ultraviolet Mirror Design describes an approach to designing EUV mirrors with reduced computational time and memory requirements, providing a comprehensive grounding in the fundamentals of the EUV mirror and knowledge of the finite-difference time-domain (FDTD) method. It is an essential reference for EUV industry professionals.

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Éditeur
Institute of Physics Publishing
Date d'édition
2021
Langue
anglais
ISBN 10 
0750326530
ISBN 13 
9780750326537
Reliure
Broché
Nombre de pages
112
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible