Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments - Couverture souple

Misumi, Ichiko

 
9780750331920: Nanoscale Standards by Metrological AFM and Other Instruments
Couverture souple
ISBN 10 : 0750331925 ISBN 13 : 9780750331920
Editeur : Institute of Physics Publishing, 2021

Synopsis

This book reviews nanometrological standards before proceeding to detail pitch, step height, line width, nanoparticle size, and surface roughness. Essential for users making quantitative nanoscale measurements, in a commercial or academic research setting, or involved in engineering nanometrology for quality control in industrial applications.

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Éditeur
Institute of Physics Publishing
Date d'édition
2021
Langue
anglais
ISBN 10 
0750331925
ISBN 13 
9780750331920
Reliure
Broché
Nombre de pages
94
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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