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Characterization in Silicon Processing - Couverture rigide

Strausser, Yale

 
9780750691727: Characterization in Silicon Processing
Couverture rigide
ISBN 10 : 0750691727 ISBN 13 : 9780750691727
Editeur : Butterworth-Heinemann Ltd, 1993

Synopsis

This volume is devoted to consideration of the use of surface, thin film and interface characterization tools in support of silicon-based semiconductor processing. Each chapter treats a type of film used in silicon devices and discusses typical problems seen throughout that film's history, including characterization tools which are most effectively used in clarifying and solving those problems.

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Éditeur
Butterworth-Heinemann Ltd
Date d'édition
1993
Langue
anglais
ISBN 10 
0750691727
ISBN 13 
9780750691727
Reliure
Relié
Nombre de pages
250
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible