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Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology and Applications - Couverture rigide
Synopsis
Presents an extensive, comprehensive study of chemical vapor deposition (CVD). Understanding CVD requires knowledge of fluid mechanics, plasma physics, chemical thermodynamics, and kinetics as well as homogenous and heterogeneous chemical reactions. This text presents these aspects of CVD in an integrated fashion, and also reviews films for use in integrated circuit technology.
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Présentation de l'éditeur
Presents an extensive, comprehensive study of chemical vapor deposition (CVD). Understanding CVD requires knowledge of fluid mechanics, plasma physics, chemical thermodynamics, and kinetics as well as homogenous and heterogeneous chemical reactions. This text presents these aspects of CVD in an integrated fashion, and also reviews films for use in integrated circuit technology.
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Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology, and Applications (Materials Science and Process Technology Series)
Edité par
Noyes Publications, 1987
ISBN 10 : 0815511361
ISBN 13 : 9780815511366
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Vendeur : ThriftBooks-Dallas, Dallas, TX, Etats-Unis
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Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology, and Applications (Materials Science and Process Technology Series)
Edité par
Noyes Publications, 1987
ISBN 10 : 0815511361
ISBN 13 : 9780815511366
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Vendeur : HPB-Emerald, Dallas, TX, Etats-Unis
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Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology, and Applications
Edité par
Noyes Pubns, (1987)., Parkdridge, New Jersey, U.S.A., 1987
ISBN 10 : 0815511361
ISBN 13 : 9780815511366
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Vendeur : Pride and Prejudice-Books, Ballston Lake, NY, Etats-Unis
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Chemical Vapor Deposition for Microelectronics : Principles, Technology and Applications
Edité par
Elsevier Science & Technology Books, 1988
ISBN 10 : 0815511361
ISBN 13 : 9780815511366
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Edition originale
Vendeur : Better World Books: West, Reno, NV, Etats-Unis
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Etat : Very Good. 1st Edition. Pages intact with possible writing/highlighting. Binding strong with minor wear. Dust jackets/supplements may not be included. Stock photo provided. Product includes identifying sticker. Better World Books: Buy Books. Do Good. N° de réf. du vendeur 986617-6
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