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Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology and Applications - Couverture rigide

Sherman, Arthur

 
9780815511366: Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology and Applications
Couverture rigide
ISBN 10 : 0815511361 ISBN 13 : 9780815511366
Editeur : William Andrew Publishing, 1988

Synopsis

Presents an extensive, comprehensive study of chemical vapor deposition (CVD). Understanding CVD requires knowledge of fluid mechanics, plasma physics, chemical thermodynamics, and kinetics as well as homogenous and heterogeneous chemical reactions. This text presents these aspects of CVD in an integrated fashion, and also reviews films for use in integrated circuit technology.

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Présentation de l'éditeur

Presents an extensive, comprehensive study of chemical vapor deposition (CVD). Understanding CVD requires knowledge of fluid mechanics, plasma physics, chemical thermodynamics, and kinetics as well as homogenous and heterogeneous chemical reactions. This text presents these aspects of CVD in an integrated fashion, and also reviews films for use in integrated circuit technology.

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Éditeur
William Andrew Publishing
Date d'édition
1988
Langue
anglais
ISBN 10 
0815511361
ISBN 13 
9780815511366
Reliure
Relié
Nombre de pages
226
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible