Handbook of Ion Beam Processing Technology: Principles, Deposition, Film Modification and Synthesis - Couverture rigide

Cuomo, Jerome J.; Rossnagel, Stephen M.; Kaufman, Harold R.

 
9780815511991: Handbook of Ion Beam Processing Technology: Principles, Deposition, Film Modification and Synthesis
Couverture rigide
ISBN 10 : 081551199X ISBN 13 : 9780815511991
Editeur : William Andrew Publishing, 1989

Synopsis

Deals with ion beam processing for basic sputter etching of samples, sputter deposition of thin films, the synthesis of material in thin film form, and the modification of the properties of thin films.

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Présentation de l'éditeur

Deals with ion beam processing for basic sputter etching of samples, sputter deposition of thin films, the synthesis of material in thin film form, and the modification of the properties of thin films.

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Éditeur
William Andrew Publishing
Date d'édition
1989
Langue
anglais
ISBN 10 
081551199X
ISBN 13 
9780815511991
Reliure
Relié
Nombre de pages
456
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible