Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions - Couverture rigide

Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D.; Cuomo, Jerome J.

 
9780815512202: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

Synopsis

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

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Présentation de l'éditeur

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

Revue de presse

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

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9781493303359: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Edition présentée

ISBN 10 :  149330335X ISBN 13 :  9781493303359
Couverture souple