Optical/Laser Microlithography V: 11-13 March 1992 San Jose, California - Couverture souple

9780819408297: Optical/Laser Microlithography V: 11-13 March 1992 San Jose, California

Couverture souple

ISBN 10 : 0819408298 ISBN 13 : 9780819408297

Editeur : Society of Photo Optical, 1992

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D�tails de l'�dition

�diteur: Society of Photo Optical
Date d'�dition: 1992
Langue: anglais
ISBN 10: 0819408298
ISBN 13: 9780819408297
Reliure: Broch�
�diteur: Cuthbert John D.
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Optical/Laser Microlithography V, Proceedings of: Volume 1674, 11-13 March 1992, San Jose, California, SPIE.

Various

Edit� par The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, U.S.A., 1992

ISBN 10 : 0819408298 ISBN 13 : 9780819408297

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