Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication - Couverture rigide

Rai-Choudhury, P.

9780819423788: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication

Couverture rigide

ISBN 10 : 0819423785 ISBN 13 : 9780819423788

Editeur : SPIE Press, 1999

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Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe

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�diteur: SPIE Press
Date d'�dition: 1999
Langue: anglais
ISBN 10: 0819423785
ISBN 13: 9780819423788
Reliure: Reli�
Nombre de pages: 768
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Harry J. Levinson,Mark A. McCord,Franco Cerrina,Robert D. Allen,John G. Skinner,Andrew R. Neureuther,Martin C. Peckerar,F. Keith Perkins,Michael J. Rooks

Edit� par Society of Photo-Optical Instrum, 1997

ISBN 10 : 0819423785 ISBN 13 : 9780819423788

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Edit� par Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997

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Harry J. Levinson

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Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks

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