Advances in Resist Technology and Processing XV - Couverture souple

Conley

 
9780819427786: Advances in Resist Technology and Processing XV
Couverture souple
ISBN 10 : 0819427780 ISBN 13 : 9780819427786
Editeur : SPIE Press, 1998

Synopsis

A review of advances in resist technology and processing. It contains 142 papers which cover areas such as ArF materials, DUV processing and Novolak-based processing.

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Éditeur
SPIE Press
Date d'édition
1998
Langue
anglais
ISBN 10 
0819427780
ISBN 13 
9780819427786
Reliure
Broché
Nombre de pages
1500
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible