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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 1: Microlithography - Couverture souple

Rai-Choudhury, P.

 
9780819497864: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 1: Microlithography
Couverture souple
ISBN 10 : 081949786X ISBN 13 : 9780819497864
Editeur : SPIE Press, 1997

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Synopsis

The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production, and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.

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Éditeur
SPIE Press
Date d'édition
1997
Langue
anglais
ISBN 10 
081949786X
ISBN 13 
9780819497864
Reliure
Broché
Nombre de pages
776
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible

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