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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology - Couverture rigide
Synopsis
"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."
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À propos de l'auteur
Saburo Nonogaki is Director of Protech, Ltd., Tokyo, Japan.
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Edité par
Marcel Dekker, USA, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (Plastics Engineering)
Edité par
CRC Press 1998-06-25, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Edité par
CRC Press, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Edité par
CRC Press, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
Edité par
Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
Neuf
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Vendeur : Majestic Books, Hounslow, Royaume-Uni
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
Edité par
Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
Edité par
Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Edité par
Taylor & Francis Inc Jun 1998, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
Neuf
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Vendeur : AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Allemagne
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Buch. Etat : Neu. Neuware - 'Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials.'. N° de réf. du vendeur 9780824799519
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