Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology - Couverture rigide
Synopsis
"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."
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À propos de l?auteur
Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Edité par
Marcel Dekker, USA, 1998
ISBN 10 : 0824799518
ISBN 13 : 9780824799519
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices & Fabrication Technology
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Taylor & Francis Group, 1998
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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CRC Press, 1998
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