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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology - Couverture rigide

Nonogaki, Saburo; Takumi, Ueno; Ito, Toshio

 
9780824799519: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Couverture rigide
ISBN 10 : 0824799518 ISBN 13 : 9780824799519
Editeur : CRC Press Inc, 1998

Synopsis

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

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À propos de l?auteur

Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito

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Éditeur
CRC Press Inc
Date d'édition
1998
Langue
anglais
ISBN 10 
0824799518
ISBN 13 
9780824799519
Reliure
Relié
Nombre de pages
336
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9781420001457: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

Edition présentée

ISBN 10 :  1420001450 ISBN 13 :  9781420001457
Editeur : CRC Press Inc, 1998
Couverture rigide

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Saburo Nonogaki; Takumi Uenoi; Toshio Ito
Edité par Marcel Dekker, USA, 1998
ISBN 10 : 0824799518 ISBN 13 : 9780824799519
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Toshio Ito Ueno Takumi Saburo Nonogaki
Edité par Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10 : 0824799518 ISBN 13 : 9780824799519
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Ito Toshio Takumi Ueno Nonogaki Saburo
Edité par Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10 : 0824799518 ISBN 13 : 9780824799519
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Ito Toshio Takumi Ueno Nonogaki Saburo
Edité par Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10 : 0824799518 ISBN 13 : 9780824799519
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