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Microlithography: Science and Technology ISBN 13 : 9780824799533

Microlithography: Science and Technology - Couverture rigide

 
9780824799533: Microlithography: Science and Technology
Couverture rigide
ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
Editeur : Marcel Dekker Inc, 1998

Synopsis

This self-contained text details both elementary and advanced aspects of submicron microlithography - providing a balanced treatment of theoretical and operating practices as well as complete information on current research in the field. Including discussions on electron beam, x-ray, and proximal probe techniques and enhanced with timesaving citations to key sources in the literature and more than 600 tables, equations, drawings, and photographs that clarify the material, the book covers mechanical systems, optics, excimer laser light sources, alignment techniques and analysis, resist chemistry, processing, multilayer lithography, plasma and reactive ion etching, metrology, and more.

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This self-contained text details both elementary and advanced aspects of submicron microlithography - providing a balanced treatment of theoretical and operating practices as well as complete information on current research in the field. Including discussions on electron beam, x-ray, and proximal probe techniques and enhanced with timesaving citations to key sources in the literature and more than 600 tables, equations, drawings, and photographs that clarify the material, the book covers mechanical systems, optics, excimer laser light sources, alignment techniques and analysis, resist chemistry, processing, multilayer lithography, plasma and reactive ion etching, metrology, and more.

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Éditeur
Marcel Dekker Inc
Date d'édition
1998
Langue
anglais
ISBN 10 
0824799534
ISBN 13 
9780824799533
Reliure
Relié
Nombre de pages
800
Éditeur
Smith Bruce W., Suzuki Kazuaki, Sheats James R.
Coordonnées du fabricant
non disponible
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Edité par CRC Press, 1998
ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
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ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
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Edité par CRC Press, 1998
ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
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Edité par Taylor & Francis Group, 1998
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Sheats, James R. & Smith, Bruce W. (eds)
ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
Ancien ou d'occasion Couverture rigide

Vendeur : Xochi's Bookstore & Gallery, Truth or consequences, NM, Etats-Unis

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Hardcover. Etat : Fine. No Jacket. 2nd. 780pp.incl.index; HB white w/blk.&purple; PONft.endpaper, otherwise fine condition w/clean,tight pgs. "This self-contained reference/text details both elementary and advanced aspects of submicron microlithography -- providing a balanced treatment of theoretical and operating practices as well as complete information on current research in the field." illus. N° de réf. du vendeur 016384

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Smith, Bruce W. [Editor]; Suzuki, Kazuaki [Editor]; Sheats, James R. [Editor];
Edité par CRC Press, 1998
ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
Neuf Couverture rigide

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Hardcover. Etat : New. In shrink wrap. Looks like an interesting title! N° de réf. du vendeur Q-0824799534

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Smith, Bruce W.
Edité par CRC Press, 1998
ISBN 10 : 0824799534 ISBN 13 : 9780824799533
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Vendeur : Toscana Books, AUSTIN, TX, Etats-Unis

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Hardcover. Etat : new. Excellent Condition.Excels in customer satisfaction, prompt replies, and quality checks. N° de réf. du vendeur Scanned0824799534

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