Synopsis
Explores the complex physical and chemical operations that are designed to build structures or modify properties of materials in very thin films. Covers fundamental phenomena occurring in unit processes used to manufacture integrated circuits. Examines the most significant fundamental manufacturing processes.
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Integrated Circuits: Chemical and Physical Processing
Edité par
American Chemical Society; Washington, D.C., 1985
ISBN 10 : 0841209405
ISBN 13 : 9780841209404
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INTEGRATED CIRCUITS CHEMICAL AND PHYSICAL PROCESSING
Edité par
American Chemical Society, 1985
ISBN 10 : 0841209405
ISBN 13 : 9780841209404
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