Polymers for Microelectronics: Resists and Dielectrics - Couverture rigide

 
9780841227217: Polymers for Microelectronics: Resists and Dielectrics
Couverture rigide
ISBN 10 : 0841227217 ISBN 13 : 9780841227217
Editeur : American Chemical Society, 1994

Synopsis

Presents recent advances in chemically amplified resists for deep UV, electron beam, and X-ray advanced lithographic technologies. Discusses top surface imaging and dry development resists. Examines the fundamental chemistry of radiation-sensitive materials, including dielectric polymers for integrated circuits and interconnect systems. Valuable reading for polymer chemists, radiation chemists, and materials scientists.

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Éditeur
American Chemical Society
Date d'édition
1994
Langue
anglais
ISBN 10 
0841227217
ISBN 13 
9780841227217
Reliure
Relié
Nombre de pages
554
Éditeur
Thompson Larry F., Willson C. Grant, Tagawa Seiichi
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible