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Polymeric Materials for Microelectronic Applications: Science and Technology - Couverture rigide

 
9780841230552: Polymeric Materials for Microelectronic Applications: Science and Technology
Couverture rigide
ISBN 10 : 0841230552 ISBN 13 : 9780841230552
Editeur : American Chemical Society, 1995

Synopsis

Reports recent developments in polymer science and technology pertinent to microelectronics. Addresses such topics as photophysics and radiation physics and chemistry of polymers; photoresists, electron beam resists, and X-ray resists; insulating materials in microelectronics; photoresponsive materials; silicon-containing polymers; conducting polymers; and optoelectronic materials. Includes international contributions from both academia and industry.

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Présentation de l'éditeur

Reports recent developments in polymer science and technology pertinent to microelectronics. Addresses such topics as photophysics and radiation physics and chemistry of polymers; photoresists, electron beam resists, and X-ray resists; insulating materials in microelectronics; photoresponsive materials; silicon-containing polymers; conducting polymers; and optoelectronic materials. Includes international contributions from both academia and industry.

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Éditeur
American Chemical Society
Date d'édition
1995
Langue
anglais
ISBN 10 
0841230552
ISBN 13 
9780841230552
Reliure
Relié
Nombre de pages
540
Éditeur
Ito Hiroshi, Tagawa Seiichi, Horie Kazuyuki
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible