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Synopsis
Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.
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À propos de l'auteur
James Moyne, Enrique del Castillo, Arnon M. Hurwitz
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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CRC Press, 2000
ISBN 10 : 0849311780
ISBN 13 : 9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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CRC Press LLC, 2000
ISBN 10 : 0849311780
ISBN 13 : 9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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CRC Press, 2000
ISBN 10 : 0849311780
ISBN 13 : 9780849311789
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Vendeur : Kennys Bookshop and Art Galleries Ltd., Galway, GY, Irlande
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Etat : New. Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies, this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control, and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers' manufacturing capabilities. Editor(s): Moyne, James; del Castillo, Enrique; Hurwitz, A.M. Num Pages: 368 pages, 27 black & white tables. BIC Classification: TGP; TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 242 x 158 x 22. Weight in Grams: 630. . 2000. 1st Edition. hardcover. . . . . N° de réf. du vendeur V9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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Taylor & Francis Group, 2000
ISBN 10 : 0849311780
ISBN 13 : 9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing (Hardcover)
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Taylor & Francis Inc, Bosa Roca, 2000
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ISBN 13 : 9780849311789
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Hardcover. Etat : new. Hardcover. Run-to-Run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control. Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies, this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control, and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers' manufacturing capabilities. Shipping may be from multiple locations in the US or from the UK, depending on stock availability. N° de réf. du vendeur 9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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Taylor & Francis Group, 2000
ISBN 10 : 0849311780
ISBN 13 : 9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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ISBN 13 : 9780849311789
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Hardback. Etat : New. Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control. N° de réf. du vendeur LU-9780849311789
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ISBN 10 : 0849311780
ISBN 13 : 9780849311789
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Vendeur : Biblios, Frankfurt am main, HESSE, Allemagne
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