Articles liés à Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabric...

Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication - Couverture rigide

 
9780852969069: Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication
Couverture rigide
ISBN 10 : 0852969066 ISBN 13 : 9780852969069
Editeur : Institution of Engineering and Technology, 1997

Synopsis

Focusing on the use of microlithography techniques in microelectronics manufacturing, this volume is one of a series addressing a rapidly growing field affecting the integrated circuit industry. New applications in such areas as sensors, actuators and biomedical devices, are described.

Les informations fournies dans la section « Synopsis » peuvent faire référence à une autre édition de ce titre.

Éditeur
Institution of Engineering and Technology
Date d'édition
1997
Langue
anglais
ISBN 10 
0852969066
ISBN 13 
9780852969069
Reliure
Relié
Nombre de pages
776
Éditeur
Choudhury P.Rai-
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible