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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering - Couverture rigide

Maluf, Nadim

 
9780890065815: An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Couverture rigide
ISBN 10 : 0890065810 ISBN 13 : 9780890065815
Editeur : Artech House Publishers, 1999

Synopsis

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

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À propos de l'auteur

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

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Éditeur
Artech House Publishers
Date d'édition
1999
Langue
anglais
ISBN 10 
0890065810
ISBN 13 
9780890065815
Reliure
Relié
Numéro d'édition
2
Nombre de pages
292
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
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