Computational Modeling in Semiconductor Processing - Couverture rigide

Meyyappan, M.

 
9780890067079: Computational Modeling in Semiconductor Processing
Couverture rigide
ISBN 10 : 0890067074 ISBN 13 : 9780890067079
Editeur : Artech House Publishers, 1994

Synopsis

This text provides coverage of the models, governing equations and numerical techniques suitable for process simulation. It concentrates on such areas as chemical vapour deposition, metal-organic chemical vapour deposition, plasma processing, rapid thermal processing and crystal growth, as well as defining the basic principles of transport phenomena, gas phase and surface reactions in electronics materials processing. In addition, it explains how to apply practical numerical techniques used in process simulation, and presents the numerical methods necessary to produce simulation codes.

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Éditeur
Artech House Publishers
Date d'édition
1994
Langue
anglais
ISBN 10 
0890067074
ISBN 13 
9780890067079
Reliure
Relié
Nombre de pages
363
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible