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Synopsis
This text provides coverage of the models, governing equations and numerical techniques suitable for process simulation. It concentrates on such areas as chemical vapour deposition, metal-organic chemical vapour deposition, plasma processing, rapid thermal processing and crystal growth, as well as defining the basic principles of transport phenomena, gas phase and surface reactions in electronics materials processing. In addition, it explains how to apply practical numerical techniques used in process simulation, and presents the numerical methods necessary to produce simulation codes.
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Computational Modeling in Semiconductor Processing
Edité par
Artech House Publishers, 1994
ISBN 10 : 0890067074
ISBN 13 : 9780890067079
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Vendeur : ThriftBooks-Dallas, Dallas, TX, Etats-Unis
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Computational Modeling in Semiconductor Processing (Artech House Materials Science Library)
Edité par
Artech House, 1994
ISBN 10 : 0890067074
ISBN 13 : 9780890067079
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Computational Modeling in Semiconductor Processing (The Artech House Materials Science Library)
Vendeur : Mispah books, Redhill, SURRE, Royaume-Uni
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Hardcover. Etat : New. New. book. N° de réf. du vendeur ERICA82908900670746
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