Optical microlithography IV: March 13-14, 1985, Santa Clara, California (Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering) - Couverture souple

9780892525737: Optical microlithography IV: March 13-14, 1985, Santa Clara, California (Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering)

Couverture souple

ISBN 10 : 0892525738 ISBN 13 : 9780892525737

Editeur : SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1985

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�diteur: SPIE--the International Society for Optical Engineering
Date d'�dition: 1985
Langue: anglais
ISBN 10: 0892525738
ISBN 13: 9780892525737
Reliure: Paperback
Nombre de pages: 260
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Optical Microlithography IV, Conference Proceedings, Volume 538, 13-14 March 1985, Santa Clara, California, SPIE.

Stover, Harry L. (Editor)

Edit� par SPIE PRESS-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, U.S.A., 1985

ISBN 10 : 0892525738 ISBN 13 : 9780892525737

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