Optical Microlithography VI - Couverture souple

9780892528073: Optical Microlithography VI

Couverture souple

ISBN 10 : 0892528079 ISBN 13 : 9780892528073

Editeur : Society of Photo Optical, 1987

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D�tails de l'�dition

�diteur: Society of Photo Optical
Date d'�dition: 1987
Langue: anglais
ISBN 10: 0892528079
ISBN 13: 9780892528073
Reliure: Broch�
�diteur: Stover Harry L.
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Optical Microlithography VI, Conference Proceedings, Volume 772, 4-5 March 1987, Santa Clara, California, SPIE.

Stover, Harry L. (Editor)

Edit� par SPIE PRESS-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, U.S.A., 1987

ISBN 10 : 0892528079 ISBN 13 : 9780892528073

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