Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes: Volume 165 - Couverture souple

Lucovsky, Gerald

 
9781107410282: Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes: Volume 165

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Synopsis

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

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9781558990531: Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes: Volume 165

Edition présentée

ISBN 10 :  1558990534 ISBN 13 :  9781558990531
Editeur : Cambridge University Press, 1990
Couverture rigide