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Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge - Couverture rigide

Savinov, V. P.

 
9781138600805: Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge
Couverture rigide
ISBN 10 : 1138600806 ISBN 13 : 9781138600805
Editeur : CRC Press, 2018

Synopsis

This book describes the physical mechanism of high-frequency (radio-frequency) capacitive discharge (RFCD) of low and medium pressure and the properties of discharge plasma in detail. The main properties and characteristics of RFCD, the features of electric breakdown in a high-frequency field are also investigated. The properties of near-electrode layers of a spatial discharge, the nature of the electric field in them, and the processes of charge transport to electrodes are explored. The work is intended for scientists engaged in gas discharge physics and low-temperature plasmas, graduate students and students of physics, physical chemistry, and relevant specialties.

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À propos de l'auteur

V. P. Savinov

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Éditeur
CRC Press
Date d'édition
2018
Langue
anglais
ISBN 10 
1138600806
ISBN 13 
9781138600805
Reliure
Relié
Nombre de pages
322
Coordonnées du fabricant
non disponible
Personne responsable
non disponible