The discrepancy between experimental and theoretical total electron-impact ionization cross sections for a group of fluorides, CFx, and NFx, (x = 1 - 3), is attributed to the inadequacies in previous theoretical models. Cross-sections calculated using a recently developed siBED (simulation Binary-Encounter-Dipole) model that takes into account the shielding of the long-range dipole potential between the scattering electron and target are in agreement with experimentation. The present study also carefully reanalyzed the previously reported experimental data to account for the possibility of incomplete collection of fragment ions and the presence of ion-pair formation channels. For NF3, our experimental and theoretical cross-sections compare well with the total ionization cross-sections recently reported by Haaland et al. in the region below dication formation.
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